对于气体间隙[1-2]，采用高压触发导通和低压电流维持相叠加的技术路线，实现在间隙负载产生频率、脉宽可控的等离子体放电。高压触发源与低压脉冲电流源在特定的时序控制模式下叠加作用于间隙负载，高压触发源采用可调直流电源供电，经过脉冲变压器升压，磁开关网络陡化压缩形成纳秒级快前沿的脉冲高压，用以击穿间隙负载，建立拉弧导通通道；低压脉冲电流源，同样采用可调直流电源供电，通过控制IGBT导通与关断，实现脉宽可控的低压脉冲大电流维持等离子体。本文对系统原理进行仿真分析，研制样机进行测试。测试结果表明基于叠加思路的高频脉冲等离子体电源，可实现频率可调、电流可调，脉宽可调的技术指标，满足设计要求。