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会员 用于刻蚀系统的均压型 Class E 超高频逆变器
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  • 2024/01/01
摘要
超高频逆变器在无线电能传输、等离子加速器等场合中有广泛的应用前景。传统的谐振式逆变器电压电流应力高,受器件特性及应用场景限制,单独谐振式逆变器往往无法满足需求。为解决超高频逆变器电压应力高、输出功率小问题,本文提出了一种两模块串联型逆变器结构,通过组合模块将开关应力降至传统 E 类的 1/2,同时针对实际应用中串联模块电压不均问题,提出了利用耦合电感调节电压的方法,实现了无外部控制下逆变模块的快速自均压。所搭建的 13.56 MHz 样机开关电压应力仅为输入电压的 2 倍,且在一定参数偏差下仍能保持分压均衡,并保持零电压开通状态,能够帮助超高频逆变器进一步提升功率密度与效率。
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