阐述基于固态 Marx 的方波脉冲调制器的设计原理、结构特点及驱动控制方法，系统由 8 级 Marx 模块串联而成，每级模块储能电容高压充电和固态开关驱动供电均采用高压硅堆隔离，每个 Marx 模块采用两只独立 IGBT 开关对其储能电容实现充电和放电，IGBT 开关驱动电路采用光纤驱动的 TD350 电路，该电路具备完善的欠压、过流和过压保护功能。Marx 模块采用插拔式结构，维护快捷简便。脉冲源在输出方形高压脉冲幅度大于 20 kV，脉冲宽度 10 μs，脉冲前后沿均为 300 ns，无强化散热措施条件下重复频率可达 1 kHz。