阐述基于固态Marx的方波脉冲脉冲调制器的设计原理、结构特点及驱动控制方法，系统由8级Marx模块串联而成，每级模块储能电容高压充电和固态开关驱动供电均采用高压硅堆隔离，每个Marx模块采用两只独立IGBT开关对其储能电容实现充电和放电，IGBT开关驱动电路采用光纤驱动的TD350电路，该电路具备完善的欠压、过流和过压保护功能。Marx模块采用插拔式结构，维护快捷简便。脉冲源在输出方形高压脉冲幅度大于20kV，脉冲宽度10μs，脉冲前后沿均为300ns，无强化散热措施条件下重复频率可达1kHz。