脉冲晶闸管以其高峰值电流、高耐压的特点在脉冲功率技术领域得到了广泛的应用。然而，传统圆片脉冲晶闸管受限于工艺条件，在开通时由于载流子二维扩展速度较慢，使得器件在高di/dt条件下可能由于电流集中造成局部过热从而失效；另外，特定的应用场景需要脉冲晶闸管具有一定的反向耐压能力。本文提出了一种具有隐埋FS层的方片脉冲晶闸管，对影响器件特性的关键参数进行了仿真研究。结果表明，阴极宽度WN+、元胞宽度Wcell的增大有利于导通压降的减小，并且增大WN+有利于峰值电流的提高，但WN+、Wcell过大时，N+阴极区下方会出现电流分布不均；P基区次表面浓度NN+_Pbase的减小有利于导通压降的减小，但NN+_Pbase过小会影响器件正向耐压；FS层浓度NFS、N2-基区厚度dN2-、NN+_Pbase影响器件的开通延迟时间，并且均呈正相关；少子寿命对器件阻断特性、导通特性和脉冲放电特性均有影响，且均呈正相关，在实际工艺中可通过吸杂技术尽量保证少子寿命，从而保证器件特性。