本文在一台基于IGBT半导体开关的Marx高压脉冲发生器设计基础上，对电源输出参数进行诊断测试。经过调试，电源能够可靠运行，采用北极星高压探头测试输出电压幅值达到182 kV，而用电阻分压器与其他一类高压探头测试电压幅值可达200 kV。通过沿面闪络绝缘击穿测试表明电源过流保护功能能够可靠地运行。将固态Marx高压模块部分套上绝缘外筒，增加了其分布参数，实验测量得到其脉冲后沿因增加绝缘外筒而增加。