在Marx电路中由不同电压斜坡触发的雪崩晶体管在串联放电时具有明显的可靠性差异，而其原因暂不明晰。本文从器件开通瞬态波形和电流通道可视化进行观察分析。针对器件电流通道宽度变化建立了准三维模型，并且进行了模型仿真和实验波形的匹配。结果表明，雪崩晶体管在由电压斜坡触发至过压状态下的开通表现出了类电离前沿的瞬态过程，这通常是在快速离化器件中的快速击穿现象。区别在于由快电压斜坡触发的瞬态出现了慢电压斜坡触发所没有的在n+-p-n0-n+晶体管的p-n结处的电场尖峰。该电场尖峰不仅加速了碰撞电离过程使电场进一步降低，还进行了横向载流子的碰撞电离拓宽电流通道，使得器件表现出在更短的时间内开通，具有更低的残余电压和更高的热可靠性。本文为器件的优化设计和Marx电路拓扑改进以提高电路的工作可靠性提供了一定的参考价值。