超声波换能器是将电能转化为机械能的装置，当工作频率越来越高时，在兆赫兹以及更高的频率下，如何提高超声波电源的输出性能成为了研究难点之一。本文以MHz超声波换能器为研究对象，提出了一种基于空心变压器的超声波换能器匹配电路设计。该匹配电路利用等效励磁电感与漏感在谐振频率下与换能器进行阻抗匹配，从而使逆变器负载近似纯阻性。并实验分析采用相同匝数的Litz线与漆包线的阻抗特性，对比了不同绕组材料对空心变压器高频损耗的影响。通过仿真与实验，利用一台1MHz样机验证超声波换能器匹配电路的可行性与性能特点。实现换能器驱动波形正弦度高，电压峰峰值达到221.7V，瞬时功率达到1288.7W。证明了所设计的换能器匹配电路的可行性，解决了兆赫兹超声波换能器驱动研制和阻抗匹配设计的难题。