随着高重复频率、高电压、快脉冲等方面要求的不断提高，高重复频率高压脉冲源主电路功率器件的散热要求也越来越高。针对高重复频率高压脉冲形成主电路功率器件，采用直接液冷方式进行散热，通过数值模拟方法研究了直接液冷的散热效果和影响因素，结果表明，采用直接液冷对电路中的发热功率器件有很好的散热效果，器件最高温度随冷却介质流速的增加而降低，在流速达0.5m/s时，可有效控制器件在合适的温度范围正常工作。