空中天车（Overhead Hoist Transfer, OHT）是制造业中自动物料搬运系统的重要组成部分。在半导体制造行业，随着半导体晶圆制造尺寸由 8 寸跨越到 12 寸，其物料搬运系统面临着前所未有的挑战。一方面，12 寸晶圆所受应力、形变导致的不良率要求避免人工参与。另一方面，晶圆总重量的提升需要更大的搬运能力。因此，空中天车（Overhead Hoist Transfer, OHT）得以快速发展，目前已广泛应用于半导体制造物料搬运系统。OHT 在空中轨道上行驶，并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口。而在晶圆厂中，为严格保证洁净环境，相比于因滑动摩擦产生污染颗粒的接触式充电，无物理接触的无线供电（Wireless Power Supply, WPS）更适用于 OHT 系统。应用于 OHT 的 WPS 系统是由一个或多个可移动负载组成的分布式系统，负载可以放置在轨道上任何地方。此类型系统通过磁场传输能量，在此过程中无需物理接触[1]，可实现组件之间的电隔离，因此不受灰尘、冰、水和其他化学物质的影响，对环境适应性高，无需人工维护。作为系统核心部件，拾取器对于磁能量传输起到关键作用。尽管已有文献讨论过特定的磁耦合机构的应用[2]，但对于分布式系统应用的拾取器形状仍缺少详细的对比和分析。本文首先介绍了典型的分布式 WPS 系统的结构，其次对比分析了适用于分布式 WPS 系统补偿网络与控制方式，最后分析总结了不同形状的拾取器的优劣势，及其对 WPS 系统的适应性。