本文介绍并比较了两种具有双层堆叠绕组（DLSW）和双层交错绕组（DLIW）的硅上集成软磁薄膜微型变压器。通过采用有限元仿真分析发现，DLSW集成变压器磁芯段的磁场分布为一维分布，可以直接采用经典的Dowell方法来评估DLSW微变压器的漏感和交流绕组电阻。然而DLIW磁芯段的磁场分布呈现为二维分布，为了适合DLIW微型变压器的二维磁场分布特征，本研究工作中对经典的Dowell方法加以改进，并使用改进后的Dowell方法对DLIW微型变压器的漏感和交流绕组电阻进行了评估。计算结果表明，在10 MHz频率时，DLSW和DLIW微型变压器的漏感分别为8.11 nH和6.85 nH，交流绕组电阻分别为0.87 Ω和0.84 Ω。通过有限元仿真，得到的两者的漏感分别为7.24 nH和6.30 nH，交流绕组电阻分别为0.85 Ω和0.83 Ω，与计算结果比较接近。计算和仿真结果说明，DLIW微变压器比DLSW微变压器具有更高的耦合系数，有利于提高传输效率。本工作中，通过微纳集成工艺，制备了上述的两种结构的微型变压器，并进行了阻抗测量。实际测量的漏感和交流绕组电阻与有限元模拟和计算结果相当接近，试验结果也验证了改进了的Dowell方法的有效性和DLIW微型变压器的优越性。