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会员 热电子枪电子束性能影响因素数值仿真
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摘要
电子枪是电子显微镜、电子束加速器等重要电子器件的核心部件,其性能直接影响到整个系统的性能。热电子枪是最简单的类型,被广泛使用于各个领域。热电子枪中,电子由阴极加热而发射电子,并在阳极高压的加速下形成电子束,且受Wehnelt电极上偏置电压的控制。为了深入研究电子枪中偏置电压以及加速电压对电子束特性的影响,本文建立了相应的电子枪模型,并利用CST软件对电子枪的电场分布进行了仿真研究。利用粒子追踪方式,建立束流与偏置电压间的关系,以及加速电压波动对电子束电流和焦点的影响。结果表明,在较低偏置电压下,电子束电流与偏置电压间满足肖特基发射公式。随着偏置电压的增大,部分电子会在空间电荷的限制下反射回阴极,在阴极温度较小时电流逐渐趋于饱和。
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