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会员 一种氧化槽结合p型柱RC-IGBT的特性研究
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  • 作者:
    马丽  , 李佳豪  , 高勇  , 康源  
  • 页数:
    5
  • 页码:
    143 - 147
  • 资源:
  • 文件大小:
    1.56M
摘要
提出了一种1200V电压领域的新型RC-IGBT结构。通过刻蚀及离子注入在器件背面形成氧化槽与p柱区的结构。氧化槽隔离n型集电极与p型集电极,并切断了缓冲层低电子电阻通道。结合p型柱形成的电子势垒增大了集电极区域的短路电阻,从而完全消除传统RC-IGBT正向导通时电压回跳效应。p型柱的参数对消除导通压降回跳现象至关重要。详细讨论了p型柱的高度、宽度和浓度对器件电学特性的影响。仿真结果表明,所提出的新结构能消除电压回跳现象,能进一步有效折中IGBT器件正向压降与关断时间的矛盾关系。
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