栅极氧化物退化是限制SiC MOSFET进一步广泛应用的关键可靠性问题。在线监测能够实时获取栅极氧化物健康状态，是提升SiC MOSFET可靠性的重要手段，因此提出一种基于栅极参考电压的SiC MOSFET栅极氧化物健康状态在线监测方法，并详细介绍了利用栅极参考电压监测栅极氧化物健康状态的基本原理；提出一种栅极参考电压在线提取电路，经脉冲测试验证可以实现在线提取，经老化试验验证可以有效监测栅极氧化物健康状态。所提电路可以集成在栅极驱动中，不会显著增加系统复杂程度。