给出设计了一种基于堆栈结构光导开关和微片激光器集成化设计的亚ns固态脉冲源，提出的微堆栈结构光导开关一方面可以抑制电场局部集中、产生光栅效应、降低开关导通电阻；还可以减弱开关热载流子效应、抑制电流丝，进而提高系统输出效率。提出的脉冲形成模块与微片激光器一体化集成设计大幅度减小了系统体积，为后续多单元组合应用奠定了基础。研制了一台基于堆栈结构光导开关模块和微片激光器集成化设计的固态脉冲源，该脉冲源在重频200Hz、输出电压10.3kV、输出脉宽（半高宽）950ps、前沿330ps条件下，可连续工作60分钟以上，这是一种实现高功率超窄脉冲输出的全新技术途径，在冲激雷达、超快脉冲计量测试等领域有广阔的应用前景。