高效、准确、可重复地提取功率半导体器件的温度特性并构建其热阻抗模型，对于电力电子系统的可靠性研究和热设计具有重要意义。为有效提取功率半导体器件的热阻抗特征参数，结合现有功率半导体器件热阻抗测试相关国际标准，提出了一种新型热阻抗测试系统及控制策略，通过使用数字信号处理器DSP（digital signal processor）控制器及温控散热器共同实现了高效准确的热阻抗测量，并且实现了测试过程的自动化。搭建实验样机，验证了测试系统及控制方法的有效性和可重复性。