介质阻挡放电产生臭氧与工作频率关系密切，臭氧的产量、浓度与产率指标往往相互背离，研究工作频率对臭氧指标的综合影响有重要意义。SPWM电源与臭氧发生器负载的等效电路及仿真结果表明SPWM输出方波的基波为正弦波，幅值10%~95%可调，频率50~2 000 Hz可调，可方便地用于测试频率对臭氧产生性能的影响。搭建由145根放电单元组成的工业应用级臭氧发生器，设计单相三阶SPWM臭氧电源，试验结果表明：谐振频率点随调制度的改变、运行电压的高低会有些变化，当工作频率略低于谐振频率时，发生器性能指标较好，当工作频率大于谐振频率时，臭氧浓度、产率等性能指标出现较大幅度下降。该装置SPWM电源在三种不同的试验路径下，均可优选出合适的工作频率，其中一个优选工作频率为810 Hz，此时臭氧产量为2 095 g/h，臭氧浓度为150.7 g/m3 ， 产率为135.1 g/（kW·h）。