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会员 4 kV 4H-SiC GTO脉冲放电特性及优化
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摘要
门极可关断(GTO)晶闸管是应用在脉冲功率器件领域中的一种重要的功率器件。本文报道了一款基于自主设计并流片制造出尺寸为6 mm×6 mm的4 kV碳化硅(silicon carbide,SiC)门极可关断晶闸管(Gate-Turn-Off Thyristor,GTO);借助Silvaco TCAD仿真研究了GTO器件的正向导通特性、正向阻断特性和脉冲放电特性,得出了其正向导通压降为4.48 V,正向阻断电压为4 kV,脉冲峰值电流Ipeak为1700 A,器件的di/dt为6.9 kA/μs。流片制造后进行封装测试,得出了其正向导通压降为4.5 V,正向阻断电压为4.5 kV,脉冲峰值电流Ipeak为1161 A,器件的di/dt为13.7 kA/μs。器件的本征dv/dt抗扰度大于124.8 kV/μs,当Rload=5 Ω时,器件的外部dv/dt抗扰度为115.8 kV/μs。
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