随着工业需求的发展，对功率晶体管的可靠性提出了更高的要求。器件结温的实时测量因能够起到保证器件正常工作的作用而至关重要。通过对开通延迟时间在线测量方法的研究，设计测量电路测量不同结温下的开通延迟时间，建立二者关系；测量实际工况下的开通延迟时间，反推出器件结温，实现器件结温的在线测量。与红外测温枪测量结果进行对比，结果相近。所提基于开通延迟时间的MOSFET结温的在线测量方法，为今后结温的在线测量提供了新思路。