在桥式射频电源中接入3次谐波谐振电路，用于改善MOSFET的快速开关状态。通过在桥式逆变器的交流端连接3次谐波谐振电路，将3次类正弦波电流叠加于正弦负载电流上，从而实现对MOSFET输出电容的快速充电或放电，使MOSFET适用于更高的工作频率。对2 MHz/2 kW射频电源进行仿真分析，其结果表明： 接入3次谐波谐振电路不仅减少了MOSFET的换向时间，而且降低了MOSFET的开关损耗 ；同时 ，死区和3次谐波谐振电路品质因数对电路的影响分析，验证了3次谐波谐振电路的可行性和有效性。