针对加速器、聚变能源、电磁发射、高功率微波、高能激光、启动点火、雷达、电力、环保、电磁兼容等应用需求，综述了国内外高功率半导体开关的研究进展。将高功率半导体开关进行了分类，绘制了各类器件的峰值功率与di/dt参数工作区间图，分析了不同开关的优势与不足。以研制IGBT串联型高功率半导体开关和光控脉冲晶闸管型高功率半导体开关为例，总结分析了电控型高功率半导体开关和光控型高功率半导体开关研制过程中的关键技术问题及其解决方案。