分别使用掺钒4H-SiC和高纯4H-SiC材料制备了同轴同面型电极光导开关，并且使用了一种新的开关封装方式。分别使用355 nm和532 nm波长的激光对开关进行了触发，在1~10 kV的外加电压范围内对光导开关导通性能进行了对比研究，并且研究了电极间距对光导开关导通的影响。利用Silvaco TCAD软件对不同情况的光导开关导通进行了仿真，得到了导通时的电流密度和电场分布曲线。