大功率磁控溅射电源主电路采用移相全桥的拓扑结构，以其软开关的方式极大地提高电源效率。传统移相全桥存在滞后臂开关管软开关实现困难、占空比丢失、环流损耗大等问题，本文采用加辅助变压器的全桥变换器拓扑作为电源主电路拓扑进行研究。主要对变换器的工作原理及工作模式进行了详细分析，并对宽范围负载的软开关实现和环流损耗进行了研究。在理论分析的基础上搭建了一台1.1 kW/220 V，开关频率20 kHz的实验样机。理论分析和实验结果表明该拓扑对磁控溅射电源主电路性能改善的有效性，提高了大功率开关电源的效率及可靠性。