摘要：基于超快速高压大功率半导体开关、脉冲形成电路以及同心等间距传输的关键技术，提出一种模块化多路同步快脉冲触发源技术方案。设计出在负载阻抗为50 Ω时，可同步输出两种快脉冲触发信号：一种幅度大于20 V（4路）、脉冲前沿小于820 ps、脉冲宽度大于100 ns；另一种则是幅度大于100 V（4路）、前沿小于1.4 ns、脉宽大于100 ns；以及在外触发作用下，触发源系统抖动和脉冲输出同步分散性分别达到2 ns和36.6 ps。电路结构上充分利用等间距电信号传输的原理，实现了快脉冲触发源模块化的设计。通过实验结果验证了所采用的设计原理及方法的可行性，给出了在外触发脉冲单次和重频（5 kHz）作用下该同步快脉冲触发源输出的实验结果。